von: Rainer Behrisch · Klaus WittmaackTaschenbuch
ISBN-13: 978-3-662-31104-2 ISBN-10: 3-662-31104-6 Springer · 2013 |
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1991 | Gebundene Ausgabe | Sputtering by Particle Bombardment III: Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications (Topics in Applied Physics) |