Reactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science, Band 109)
von:
Diederik Depla
·
Stijn Mahieu
Taschenbuch
Details (
Deutschland
)
ISBN-13: 978-3-642-09536-8
ISBN-10: 3-642-09536-4
Springer
· 2010
Siehe auch:
2008
Gebundene Ausgabe
Reactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science, Band 109)