Reactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science (109), Band 109)
von:
Diederik Depla
·
Stijn Mahieu
Gebunden
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-540-76662-9
ISBN-10: 3-540-76662-6
Springer
· 2008
S. auch:
2010
Taschenbuch
Reactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science, Band 109)