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von M. R. OliverTaschenbuch Details (Deutschland) Details (United States) Details (Großbritannien) Details (Frankreich)
ISBN-13: 978-3-642-07738-8 ISBN-10: 3-642-07738-2 Springer Berlin Heidelberg · 2010 |
Siehe auch: | ||
2004 | Gebundene Ausgabe | Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials (Springer Series in Materials Science, Band 69) |