Cmos Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy And Gas Sensing Applications (Microtechnology and MEMS)
von
D. Lange
Taschenbuch
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-642-07728-9
ISBN-10: 3-642-07728-5
Springer
· 2013
S. auch:
2002
Gebundene Ausgabe
CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications (Microtechnology and MEMS)