von Joachim FrühaufTaschenbuch Details (Deutschland) Details (USA) Details (Großbritannien) ISBN: 978-3-642-06048-9 ISBN-10: 3-642-06048-X Springer · 2010 |
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2004 | Gebundene Ausgabe | Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures |