von Joachim FrühaufGebunden Details (Deutschland) Details (USA) Details (Großbritannien) ISBN-13: 978-3-540-22109-8 ISBN-10: 3-540-22109-3 Springer · 2004 |
Siehe auch: | ||
2010 | Taschenbuch | Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures |