von: Jarek Dabrowski · Eicke R. WeberTaschenbuch
ISBN-13: 978-3-642-05804-2 ISBN-10: 3-642-05804-3 Springer · 2010 |
Siehe auch: | ||
2004 | Gebundene Ausgabe | Predictive Simulation of Semiconductor Processing: Status and Challenges (Springer Series in Materials Science, Band 72) |