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von: Jarek Dabrowski · Eicke R. WeberGebunden
ISBN: 978-3-540-20481-7 ISBN-10: 3-540-20481-4 Springer · 2004 |
S. auch: | ||
2010 | Taschenbuch | Predictive Simulation of Semiconductor Processing: Status and Challenges (Springer Series in Materials Science, Band 72) |