Modelling of Microfabrication Systems (Microtechnology and MEMS)
von
R. Nassar
Taschenbuch
Details (
Deutschland
)
ISBN-13: 978-3-642-05536-2
ISBN-10: 3-642-05536-2
Springer
· 2010
Siehe auch (möglicherweise von anderen Autoren):
2003
Gebundene Ausgabe
Modelling of Microfabrication Systems (Microtechnology and MEMS)