Modelling of Microfabrication Systems (Microtechnology and MEMS)

Microtechnology

von: Raja Nassar · Weizhong Dai

Gebunden

EAN=ISBN-13: 978-3-540-00252-9

ISBN-10: 3-540-00252-9

Springer · 2003

S. auch (eventuell von anderen Autoren):
2010TaschenbuchModelling of Microfabrication Systems (Microtechnology and MEMS)