![]() |
von: Jianfeng Luo · David A. DornfeldGebunden Details (Deutschland) Details (United States) Details (Großbritannien) ISBN-13: 978-3-540-22369-6 ISBN-10: 3-540-22369-X Springer · 2004 |
Siehe auch: | ||
2010 | Taschenbuch | Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication:: From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales |