von: Osamu Tabata · Toshiyuki Tsuchiya · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. KorvinkTaschenbuch
ISBN: 978-3-527-33501-5 ISBN-10: 3-527-33501-3 Wiley-VCH · 2013 |
Siehe auch: | ||
2007 | Gebundene Ausgabe | Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems, Band 6) |