von: Osamu Tabata · Toshiyuki Tsuchiya · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. KorvinkGebunden
ISBN-13: 978-3-527-31494-2 ISBN-10: 3-527-31494-6 Wiley-VCH · 2007 |
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2013 | Taschenbuch | Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems) |