Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (Solid State Phenomena)
von:
Marc Heyns
·
Marc Meuris
·
Paul Mertens
Taschenbuch
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-908450-40-5
ISBN-10: 3-908450-40-3
Trans Tech
· 1999
S. auch:
2001
Taschenbuch
Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (Solid State Phenomena)