Halbleiterwaferbondverbindungen mittels strukturierter Glaszwischenschichten zur Verkapselung oberflächenmikromechanischer Sensoren auf Waferebene (Elektronik)
von
Roy Knechtel
Taschenbuch
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-89963-166-1
ISBN-10: 3-89963-166-8
Dr. Hut
· 2005