GMM-Fb. 86: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 6. GMM-Workshops, 5. - 6. Oktober 2016 in Duisburg (GMM-Fachberichte)
von
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
CD-ROM
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-8007-4278-3
ISBN-10: 3-8007-4278-0
VDE VERLAG
· 2016