MikroSystemTechnik Kongress 2015MEMS, Mikroelektronik, Systeme 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe
von
Mikrosystem- und Feinwerktechnik VDI-Gesellschaft Mikroelektronik
CD-ROM
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-8007-4100-7
ISBN-10: 3-8007-4100-8
Vde-Verlag
· 2015