GMM-Fb. 81: Mikro-Nano-Integration, 12 CD-ROM Beiträge des 5. GMM-Workshops 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. Hrsg.: VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
von
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
CD-ROM
Details (
Deutschland
)
ISBN-13: 978-3-8007-3632-4
ISBN-10: 3-8007-3632-2
Vde-Verlag
· 2014