GMM-Fb. 81: Mikro-Nano-Integration, 12 CD-ROM Beiträge des 5. GMM-Workshops 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. Hrsg.: VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik

Feinwerktechnik

von VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)

CD-ROM

ISBN-13: 978-3-8007-3632-4

ISBN-10: 3-8007-3632-2

Vde-Verlag · 2014