Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik: Vorträge des 2. GMM-Workshops vom 10. bis 11. Mai 2010 in Darmstadt

Microelektronik

von Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) VDE/VDI-Gesellschaft Microelektronik

CD-ROM

Details (Deutschland)

ISBN: 978-3-8007-3253-1

ISBN-10: 3-8007-3253-X

VDE VERLAG · 2010