EMLC 2009. CD-ROM: 25th European Mask and Lithography Conference, Lectures held at the GMM Conference January 12-15, 2009 in Dresden, Germany

Microelektronik

von Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) VDE/VDI-Gesellschaft Microelektronik

CD-ROM

ISBN: 978-3-8007-3154-1

ISBN-10: 3-8007-3154-1

Vde Verlag Gmbh · 2009

Siehe auch (möglicherweise von anderen Autoren):
2008CD-ROMEMLC 2008: 24th European Mask and Lithography Conference - Lectures held at the GMM Conference January 21-24, 2008 in Dresden, Germany