von Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) VDE/VDI-Gesellschaft MicroelektronikCD-ROM ISBN: 978-3-8007-3154-1 ISBN-10: 3-8007-3154-1 Vde Verlag Gmbh · 2009 |
Siehe auch (möglicherweise von anderen Autoren): | ||
2008 | CD-ROM | EMLC 2008: 24th European Mask and Lithography Conference - Lectures held at the GMM Conference January 21-24, 2008 in Dresden, Germany |