EMLC 2005: 21th European Mask and Lithography Conference EMLC (Former EMC) - Lectures held at the GMM-Conference January 31-February 03, 2005 in Dresden, Germany

von VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikro- u. Feinwerktechnik (GMM)

Taschenbuch

Details (Deutschland)

ISBN-13: 978-3-8007-2875-6

ISBN-10: 3-8007-2875-3

VDE VERLAG · 2005