von Hiroyuki FujitaTaschenbuch Details (Deutschland) Details (USA) Details (Großbritannien) Details (Kanada) ISBN-13: 978-3-642-62465-0 ISBN-10: 3-642-62465-0 Springer · 2003 |
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2003 | Gebundene Ausgabe | Micromachines as Tools for Nanotechnology (Microtechnology and MEMS) |