von: M. Elwenspoek · R. WiegerinkGebunden Details (Deutschland) Details (Vereinigte Staaten) Details (Großbritannien) ISBN-13: 978-3-540-67582-2 ISBN-10: 3-540-67582-5 Springer · 2000 |
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2010 | Taschenbuch | Mechanical Microsensors (Microtechnology and Mems) |