Vakuumbeschichtung: Band 1: Plasmaphysik, Plasmadiagnostik, Analytik (VDI-Buch)
von:
Gerhard Kienel
·
Hartmut Frey
Gebunden
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-540-62265-9
ISBN-10: 3-540-62265-9
Springer
· 1995
