Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

Niederdruckplasmen

von Gerhard Franz

Gebunden

ISBN-13: 978-3-540-40765-2

ISBN-10: 3-540-40765-0

Springer · 2003

Siehe auch (möglicherweise von anderen Autoren):
1994Gebundene AusgabeOberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik