Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology (Microtechnology and MEMS)

Microsensor

von Andreas Hierlemann

Gebunden

ISBN-13: 978-3-540-23782-2

ISBN-10: 3-540-23782-8

Springer · 2005

Siehe auch:
2010TaschenbuchIntegrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology (Microtechnology and MEMS)