Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials
von:
Kiyotaka Wasa
·
Makoto Kitabatake
·
Hideaki Adachi
Gebunden
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-540-21118-1
ISBN-10: 3-540-21118-7
Springer
· 2004
Siehe auch:
2013
Taschenbuch
Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials