Resonant MEMS: Fundamentals, Implementation, and Application (Advanced Micro and Nanosystems, Band 11)

Fundamentals

von: Christofer Hierold · Fabien Josse · Gary K. Fedder · Isabelle Dufour · Jan G. Korvink · Oliver Brand · Stephen M. Heinrich

Gebunden

ISBN: 978-3-527-33545-9

ISBN-10: 3-527-33545-5

Wiley-VCH · 2015