LIGA and its Applications (Advanced Micro and Nanosystems, Band 7)
von:
Gary K. Fedder
·
Jan G. Korvink
·
Oliver Brand
·
Osamu Tabata
· Ulrike Wallrabe ·
Volker Saile
Gebunden
Details (
Deutschland
)
ISBN-13: 978-3-527-31698-4
ISBN-10: 3-527-31698-1
Wiley-VCH
· 2008