von: Norbert Kockmann · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. Korvink · Osamu TabataGebunden
ISBN: 978-3-527-31246-7 ISBN-10: 3-527-31246-3 Wiley-VCH · 2006 |
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2013 | Taschenbuch | Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications (Advanced Micro and Nanosystems) |