CVD of Compound Semiconductors: Precursor Synthesis, Development and Applications: Preparation and Uses (Deutsche Einheitsverfahren)
von:
Anthony C Jones
·
Paul O'Brien
Gebunden
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-527-29294-3
ISBN-10: 3-527-29294-2
Wiley-VCH
· 1997