Halbleiter-Technologie: Eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen
von
Heinz Beneking
Gebunden
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-519-06133-5
ISBN-10: 3-519-06133-3
Teubner Verlag
· 1991
