Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials

Sputtering

von: Kiyotaka Wasa · Makoto Kitabatake · Hideaki Adachi

Gebunden

ISBN: 978-3-540-21118-1

ISBN-10: 3-540-21118-7

Springer · 2004

Siehe auch:
2013TaschenbuchThin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials